复合机器人

         复合作业机器人具有高洁净能力解决方案。并融合高级传感器+防撞机构+急停按键多重安全防护极大地提升了整体系统的安全性。搭配自主研发的AI视觉系统可以准确完成系统下发的任务。能在高级别的无尘环境下，实现低振动、平稳快速的搬运晶圆盒，高效节约人力成本，同时大幅提高生产效率及产品质量。